Litmas^® RPS 是唯一采用高传导、低表面面积结构的完全整合远程感应式等离子源和供电系统。非常适合为晶圆预清洗、光致抗蚀剂剥离和原子层沉积 (ALD) 等工艺提供反应气体。此外，其大功率密度和高传导性使其成为后处理废气治理的理想平台。

Litmas RPS 可在不到3毫秒的时间内提供高达3 kW 的稳定射频功率，从而能够实现90 nm 和300 nm制程的快速变化。

优势	特点
减少了对易损设备结构的电荷损伤 高反应活性物焊剂生成 广泛的工艺化学范围 快速匹配、稳定的供电 持有成本降低 增强终端用户工艺开发和输出量	整合式电源、匹配和等离子腔室 获得专利的 LitmasMatch™ 固态供电拓扑结构 即插即用的安装 极其广泛的匹配范围 耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔室材料 尺寸小 最高的等离子功率密度 源与源之间的变化极小