Pinnacle® 系列
业界公认的 Pinnacle
® 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能,从而大大减少了工艺变化,提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。
优势 |
特点 |
- 最低的运行和安装成本
- 业界最快的弧反应时间
- 可配置的弧反应参数
- 最大的工艺效率
- 精确的工艺控制
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- 最低的存储能量——每千瓦输出不到 1mJ
- 无需调节输出变压器
- 4:1的阻抗范围
- 靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间
- ±0.1%的输出重复性
- Joule 模式——最优化的能量传送
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可下载文献
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