直流

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拥有Arc Management System™ 技术的 Ascent® 直流电源
强大的 Ascent® 直流电源专门用于易产生电弧的工艺制程,它可以提供稳定功率,以获得可重复的高质量薄膜。严格的质量控制过程确保可达到最高可靠性。Effective Arc Management System™ 功能可以熄灭电弧,防止不必要的薄膜损坏或制程中断。同时 Set Point Compensation™ 技术可以平衡设定点与溅射率,即使在电弧非常频繁的情况下也能做到这一点。Ascent 电源配备了多种用户界面和虚拟前面板软件,易于设置和操作。您可以选择主/从装置,或利用 Arc-Sync™ 技术以多个相邻的阴极调节电源。不管您的配置如何,均可使用 Ascent 电源获得稳定、可重复的电源。
Ascent® DMS 先进的孪生磁控阴极溅射系统
Ascent® DMS 先进的孪生磁控阴极溅射系统
优势 | 特点 |
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