Litmas^® RPS 系统是一种前极管道治理解决方案，可减少半导体制程的全球变暖影响。这个高性能的线性感应式等离子源完全整合了2 MHz 电源和匹配电路。其在 CVD、蚀刻和灰化应用中的阻抗使用范围很广。

优势	特点
以很高的破坏效率，有效地治理对环境有害的 PFC 气体 降低了总治理成本 使前极管道的压力影响降至最低 最大的功率效率和工艺灵活性 在各种化学反应中始终如一的性能和可靠性 无缝整合，无工艺影响	线性感应式等离子源和高端供电系统 紧凑的整合设计 用水少、耗电小（无需燃料） 高传导性、抗氟、圆柱形陶瓷腔室 零 sub-fab 占地面积