经济型 Integro™ 射频发生器在很小的体积内结合了一个 13.56MHz、600W 的射频发生器和一个自动匹配网络。这节约了宝贵的空间并使得整合变得更容易。它支持的功能包括：脉冲模式、CEX 操作以及多种保护功能。