MDX 系列500 W
MDX 500 在真空环境中经久耐用,能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境。
优势 |
特点 |
- 超载内置保护
- 可靠性和耐用性
- 快速反应时间
- 兼容性认证
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- 多级弧抑制及灭弧
- 用户I/O接入
- 功率、电流或电压调节功能
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可下载文献
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