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直流脉冲产品套件
AE 的脉冲产品系列具有各种功能，能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点，能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。
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优势 |
特点 |
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功能广泛
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灵活的直流脉冲附件系列
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通过允许在更大功率下运行，提高吞吐量
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减少靶材污染
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提高 10-200kW 的功率
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提供 2-100kHz 的固定和可变频率
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出色的弧控制——在很多情况下，弧完全被消除。
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离子能量更高
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更大功率运行
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基材温度更低
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靶材温度更低
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工艺灵活性和宽容度
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系统整合容易
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双阴极功能（Astral® 产品）
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