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拥有Arc Management System™ 技术的 Ascent® 直流电源
强大的 Ascent® 直流电源专门用于易产生电弧的工艺制程，它可以提供稳定功率，以获得可重复的高质量薄膜。严格的质量控制过程确保可达到最高可靠性。Effective Arc Management System™ 功能可以熄灭电弧，防止不必要的薄膜损坏或制程中断。同时 Set Point Compensation™ 技术可以平衡设定点与溅射率，即使在电弧非常频繁的情况下也能做到这一点。Ascent 电源配备了多种用户界面和虚拟前面板软件，易于设置和操作。您可以选择主/从装置，或利用 Arc-Sync™ 技术以多个相邻的阴极调节电源。不管您的配置如何，均可使用 Ascent 电源获得稳定、可重复的电源。
Ascent® DMS 先进的孪生磁控阴极溅射系统
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优势 |
特点 |
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确保现场可靠性达到最高
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高效地电弧管理以提高薄膜质量、生产效率、产量和利润
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简化用于以下应用场合的建设镀膜制程中电源集成
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30、40 和 60 kW 型号
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已获得专利以及正在申请专利的 Arc Management System™ 技术
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Set Point Compensation™ 技术
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虚拟前面板 软件
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远程控制前面板和被动前面板
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RS-232/485、以太网、Profibus 和模拟通讯接口
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可主/从叠加到最多12台
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全天候技术支持
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符合 RoHS标准
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