直流

我如何确定脉冲直流电源是否适合我的 FPD 制程? Visit our FAQ page for details.


作为拥有36年以上历史的直流电源产品领先企业,AE 为全球成千上万的客户提供服务,通过下列优势、解决客户复杂的工艺问题,为客户创造价值:

  • 高产量
  • 靶材使用寿命的延长,利用率提高
  • 系统正常运行时间的延长
  • 应用支持人员
  • 全球支持能力


AE 的直流电源产品主要通过物理气相沉积市场上主要使用的物理气象沉积工艺——合金溅射以及与有反应气体参与的反应溅射,AE电源广泛应用于以下制造市场,包括:
 

  • 导体(铜、铝、钽、钛以及更新的异类材料)
  • 板显示器(薄膜晶体管、彩色滤光片、有机 LED)
  • 据存储(光存储、磁存储以及磁光存储相结合)
  • 阳能光伏电池(透明导电氧化物和硅沉积)
  • 筑玻璃
  • 进产品应用(用于光学装置、工具涂层、塑料等的薄膜)


可下载文献

The Art of Choosing the Right Power Supply