Litmas RPS 1501 与 3001 远程等离子源

离子源技术

Litmas^® RPS 1501和3001远程等离子源平台

Litmas^® RPS 是唯一采用高传导、低表面面积结构的完全整合远程感应式等离子源和供电系统。非常适合为晶圆预清洗、光致抗蚀剂剥离和原子层沉积 (ALD) 等工艺提供反应气体。此外，其大功率密度和高传导性使其成为后处理废气治理的理想平台。

Litmas RPS 可在不到3毫秒的时间内提供高达3 kW 的稳定射频功率，从而能够实现90 nm 和300 nm制程的快速变化。

优势	特点
减少了对易损设备结构的电荷损伤高反应活性物焊剂生成广泛的工艺化学范围快速匹配、稳定的供电持有成本降低增强终端用户工艺开发和输出量	整合式电源、匹配和等离子腔室获得专利的 LitmasMatch™ 固态供电拓扑结构即插即用的安装极其广泛的匹配范围耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔室材料尺寸小最高的等离子功率密度源与源之间的变化极小

First Name	*
Last Name	*
Email	*
Title	*
Company	*
Phone	*
Region	*
I agree to the terms of use. * Terms of Use \| Privacy Policy
Please contact me immediately regarding AE products and services.
Sign up for our blog.
	No, thanks.