Litmas RPS -用于前极管道 PFC 治理

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离子源技术

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Litmas^® RPS 前极管道 PFC 治理

Litmas^® RPS 系统是一种前极管道治理解决方案，可减少半导体制程的全球变暖影响。这个高性能的线性感应式等离子源完全整合了2 MHz 电源和匹配电路。其在 CVD、蚀刻和灰化应用中的阻抗使用范围很广。

优势	特点
以很高的破坏效率，有效地治理对环境有害的 PFC 气体降低了总治理成本使前极管道的压力影响降至最低最大的功率效率和工艺灵活性在各种化学反应中始终如一的性能和可靠性无缝整合，无工艺影响	线性感应式等离子源和高端供电系统紧凑的整合设计用水少、耗电小（无需燃料）高传导性、抗氟、圆柱形陶瓷腔室零 sub-fab 占地面积

可下载文献

Litmas^® RPS Remote Plasma Source technical specification
AE Global Services brochure

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