PEII 低频系列
PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。
| 优点 |
功能 |
- 恒功率、电压或电流输出
- 最高的灵活性与模块性
- 强大的电弧控制
- 自动制程保护装置
- 极宽的祖抗匹配范围
- 高功率密度
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- 5 kW 和 10 kW 选项（主/从 至多达到60 kW）
- 内部负载匹配（10:1 阻抗范围）
- 两种不同的弧处理电路
- 高效能、紧凑型水冷式设计
- 多种可选配件
- 符合 CE 标准
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可下载文献