Sekidenko OR400T 光纤温度计
Advanced Energy 的 OR400T 光纤温度计 (OFT) 拓展了 OFT 产品系列的灵活性，向多种高用量的半导体应用提供了具有成本竞争力非接触性的解决方案，其中包括电浆辅助化学气相沈积(PECVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)、物理气相沉积(PVD)和金属刻蚀。由于 OR400T 具有紧凑型设计，因此能够轻松整合以满足多种工艺应用的特殊要求。
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优势 |
特点 |
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提高温度测量精度
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提高晶圆均匀度
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提供具有成本竞争力，可替代热电偶温度测量的方案
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提高生产力、良品率和吞吐量
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紧凑、单通道设计
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在原位、非接触性温度测量
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支持 RS-232 和模拟数据界面，每秒最多达20个温度读数
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更好的低温性能
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可下载文献