Sekidenko OR4000T & OR4000E 光纤温度计&发射率计
Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多通道光纤温度计 (OFT) 为 RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV 固化以及其它半导体工艺提供了业界领先的非接触性温度测量性能。OR4000T 型号向要求最苛刻的半导体应用支持高达 2kHz 的读取率提供了多通道的功能。OR4000E 型号提供了与 OR4000T 一样的高速性能，还增添了实时发射率补偿功能。两个型号均设计为模块，能够快速调整以满足各个工艺应用的特殊要求。
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优势 |
特点 |
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提高温度测量精度
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增强可重复性，将变化减至最少
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提高生产力、良品率和吞吐量
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提高多种封闭空间和基片材料的稳定性及可靠性
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在原位、非接触性温度测量
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实时发射率测量和补偿
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行业领先的温度和发射率读取率
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高度灵活、基于模块的平台架构
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完整的输入输出和外部触发/同步套件
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可下载文献