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RF 电源基础知识课程

Advanced Energy 业界领先的“RF 电源基础知识”课程旨在确保您能实现先进工艺中的 RF 供电最佳化。新员工和专家将同样从深入指导和 RF/等离子实验室中获益。该课程将加深对用于为以等离子为基础的制造设备提供动力的 RF 技术和 RF 传输方法的理解,学员们将获得 RF 输入生成、操作和测量等离子的动手经验。RF 阻抗匹配在电源稳定性方面的关键作用将被强调。

优势 特点
  • 降低设备持有成本
  • 优化设备生产力
  • 提高故障排除和诊断技能
  • 通过优化改善产量
  • RF 技术和传输方法的基本知识
  • 熟悉设备与工艺之间的基本关系
  • 了解和使用针对工艺和工艺设备表征的简单测量方法
  • 解决典型问题的能力以及熟悉常见故障解决方法
  • 工艺设备的实作知识


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