|
|
|
Pinnacle® Plus+
Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle ® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。
|
优势 |
特点 |
-
更高的沉积率与产品率
-
薄膜均匀性和品质一流
-
成弧造成的基材损坏减少
-
成本更低
-
系统整合容易
-
极佳的工艺灵活性和宽容度
-
重复性能
-
在过度曲线上运行稳定
-
吞吐量更高
-
便于监控
-
无与伦比的系统灵活性
|
-
一个紧凑型封装
-
频率调节范围为 5-350kHz
-
占空比高达45%
-
电压范围宽——单输出宽阻抗范围
-
大功率运行
-
基材温度低
-
单输出（5kW 和 10kW 型号）
-
用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号）
-
绝佳的弧控制
-
反应性溅射闭环控制
|
|